原因如下：因为气路系统不可能做到理论密封，总有一定的泄漏。在这种情况下，微型真空泵的流量越大，泄漏量所占的比例越小，越有利于泵维持较高的真空度，从而得到更大的吸附力。比如，有 2 台极限真空度相同的泵， A 泵流量为 1 L /min ， B 泵流量为 20 L /min ，同样在 0.1 L /min 的泄漏情况下，微型真空泵的真空度会降低很多，因为 0.1 L /min 的泄漏对它而言太大了。但 0.1 L /min 的泄漏对微型真空泵来说不算什么，仍然可以维持较高的真空度。因此，虽然二者真空度相同，但在实际中，微型真空泵产生的吸附力更大。因此，泵选型时必须同时考虑真空度和流量两个指标，只重视真空度指标是不切实际的。当需要释放被吸住的物体时，首先必须使泵停机，不要继续抽真空。泵停机后，物体不一定会立即脱落，因为泵都有一定的保压能力，真空还将继续维持一会儿。要想立即释放，气路系统应再增加一条支路，连接一开关阀，泵停机并同时打开阀门，立即消除气路系统真空，这样才能可靠地释放物体。